단일시스켐

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특수가스

순수특수가스 혼합가스 희귀가스 반도체용가스 기타가스
순수특수가스
Pure Gases
순수특수가스
특성(Properties)

반도체산업, 석유화학, 자동차공업, 환경관련 산업의 실험, 연구 및 생산용으로 사용되는 순수 특수 가스는 귀사 생산공정의 기준 데이터를 제공하여 드리는 가장 기준이 되는 제품으로 미국 프렉스에어사로부터 실린더 세척법, 고도 충전법, 정밀분석법, 가스정제 설비 및 관련 기술을 도입하여 고객의 신뢰를 더욱 높여가고 있습니다.
특히, 수소 및 산소는 구내에서 유일하게 물 전기분해 방식의 Generator를 통하여 더욱 순수한 가스를 생산하여 국내반도체 업계에 공급하고 있습니다.

  • Acetylene
  • Air*
  • Ammonia
  • Argon *
  • Arsine
  • Boron Trichloride
  • Boron Trifluoride
  • Butadiene 1,3
  • Butane (Normal)
  • Butene (Cis-2)
  • Butene (Trans-2)
  • Carbon Dioxide*
  • Carbon Monoxide
  • Chlorine
  • Deuterium
  • Diborane
  • Dichlorosilane
  • Dimethyl Ether
  • Dimethylamine
  • Disilane
  • Ethane
  • Ethyl Chloride
  • Ethylene
  • Ethylene Oxide
  • Halocarbon-116 (Hexafluoroethane)
  • Halocarbon-134A (1,1,1,2-Tetrafluoroethane)
  • Halocarbon-14 (Tetrafluoromethane)
  • Halocarbon-218 (Perfluoropropane)
  • Halocarbon-22 (Chlorodifluormethane)
  • Halocarbon-23 (Trifluoromethane)
  • Helium*
  • Hydrogen*
  • Hydrogen Bromide
  • Hydrogen Chloride
  • Hydrogen Chloride
  • Hydrogen Sulfide
  • Isobutane
  • Isobutylene
  • Krypton
  • Methane
  • Methyl Bromide
  • Methyl Chloride
  • Monomethylamine
  • Natural Gas
  • Neon
  • Nitric Oxide
  • Nitrogen*
  • Nitrogen Dioxide
  • Nitrogen Trifluoride
  • Nitrous Oxide
  • Oxygen*
  • Phosphine
  • Phosphorous Pentafluoride
  • Propane
  • Propylene
  • Silane
  • Silicon Tetrachloride
  • Sulfur Dioxide
  • Sulfur Hexafluoride
  • Trichlorosilane
  • Trimethylamine
  • Tungsten Hexafluoride
  • Xenon