단일시스켐

본문 바로가기 주메뉴 바로가기 서브메뉴 바로가기

산업용가스

화학 석유화학 식품 및 음료 건강의료 펄프 및 제지 금속 제조 조립 금속
환경 유리 우주환경 전자부품조립 자동차 반도체
반도체
Semiconductor Industry
반도체
Silicon Process Gases
  • Polycrystalline Silicon, Epitaxial Silicon, Silicon Dioxide, Silicon Nitride를 침착시키는 실리콘 원자의 원천으로 사용
Dopants Gases
  • 반도체물질의 전기적 특수성을 수정시켜주는 일종의 불순물의 원천으로 사용
Etchant Gases
  • 에칭공정에 주로 사용되는 가스류로서 Silicon, Silicon Nitride와 결합하여 휘발성물질 형성
Atmospheric Gases
  • 반도체 제조업체에서 House purge line에서 발생할 수 있는 역류오염을 막기위한 공정시스템과 장비를 퍼징할때 사용
Reactants Gases
  • Reactant 공정에 사용
Corrosive Gases
  • 에칭용으로 사용되며, 가스설비의 부식방지와 공정성능의 향상을 위해 고순도의 가스 사용