단일시스켐

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특수가스

순수특수가스 혼합가스 희귀가스 반도체용가스 기타가스
반도체용가스
Semiconductor Gases
반도체용가스
특성(Properties) 반도체 제조 및 연구용으로 사용되는 반도체용 가스는 그 종류가 다양하며 초고순도가 요구됩니다.
프렉스에어코리아는 소량의 특수가스 공급은 물론 일괄 수주 방식(Turn-key Base)에 의한 특수가스 공급시스템 설계, 건설, 가스공급 및 관리 서비스를 세계최대, 최고 수준의 Praxair 기술이 책임지고 있습니다.
공급제품(Supply Products)
Atmospheric Gas

산소* / 질소* / 알곤* / 헬륨* / 수소*

Silicon Precursor Gases

Dichlorosilane, SiH2Cl2* / Silane, SiH4* / Disilane, Si2H6 / Silicon Tetrachloride, SiCl4 / Germane, GeH4
Silicon Tetrafluoride, SiF4 / Germanium Tetrafluoride, GeF4 / Trichlorosilane, SiHCl3 / Methylsilane, SiH3CH3

Dopant Gases

Arsine, AsH3 / Diborane, B2 H6 / Boron Trifluoride, BF3 / Phosphine, PH3 / Boron-11Trifluoride, (enriched) 11BF3
Trimethylboron, B(CH3 )3

Etchant

Boron Trichloride, BCl3 / Halocarbon 125, (C2HF5) / Chlorine, Cl2 / Halocarbon 218, C3 F8* / Chlorine Trifluoride, ClF3 Halocarbon C318, C4 F8 / Halocarbon 14, CF4* / Hydrogen Bromide, HBr / Halocarbon 23, CHF3* / Hydrogen Chloride, HCl Halocarbon 32, CH2 F2 Hydrogen Fluoride, HF / Halocarbon 41, (CH3F) / Nitrogen Trifluoride, NF3 / Halocarbon 116, C2 F6* Sulfur Hexafluoride, SF6

Reactant

Ammonia, NH3 / Nitrous Oxide, N2O / Carbon Dioxide, CO2 / Sulfur Dioxide, SO2 / Carbon Monoxide, CO Tungsten Hexafluoride, WF6

*표시는 국산화 완료 및 진행중인 품목입니다. 나머지 제품은 Praxair로부터 공급 받아 국내에서의 별도 저장, 순도관리체계에 의해 공급됩니다.
공급품질(Supply Quality)
생산공장(Production Factory)
ad가스캐비넷 및 특수가스 공급시스템sf
제품공급체계
서비스