단일시스켐

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산업용가스

반도체
Semiconductor Industry
반도체
Silicon Process Gases
  • Polycrystalline Silicon, Epitaxial Silicon, Silicon Dioxide, Silicon Nitride를 침착시키는 실리콘 원자의 원천으로 사용
Dopants Gases
  • 반도체물질의 전기적 특수성을 수정시켜주는 일종의 불순물의 원천으로 사용
Etchant Gases
  • 에칭공정에 주로 사용되는 가스류로서 Silicon, Silicon Nitride와 결합하여 휘발성물질 형성
Atmospheric Gases
  • 반도체 제조업체에서 House purge line에서 발생할 수 있는 역류오염을 막기위한 공정시스템과 장비를 퍼징할때 사용
Reactants Gases
  • Reactant 공정에 사용
Corrosive Gases
  • 에칭용으로 사용되며, 가스설비의 부식방지와 공정성능의 향상을 위해 고순도의 가스 사용